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과제번호 S1010267
과제명 웨이퍼 표면 및 내부 결함 검사를 위한 AOI(Automated Optical Inspection)시스템 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2006년도 중소기업기술혁신개발사업 전략과제 지원계획 공고
세부공고명 수요발굴과제(300개)
주관기관명 (주)커미조아
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 135,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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