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[검색결과: 1142 건]
| No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
|---|---|---|---|
| 227 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 저COST 처짐방지 Tension Shaft를 적용한 평판디스플레이 이송장치 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
| 226 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 고효율의 Double Erosion Magnetron Sputter Source 개발 | 증착장비 |
| 225 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | COF/LCD Module Test用 Probecard개발 | 측정/검사 장비 |
| 224 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 웨이퍼 표면 및 단면 자동 측정/검사기 개발 | 측정/검사 장비 |
| 223 | 중소기업기술혁신개발사업 | 냉각 기능을 갖는 LCD 제조 공정용 차세대 Susceptor개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
| 222 | 기업협동형기술개발사업 | DDI용 디지털 및 아날로그 테스트 보드 개발 | 측정/검사 장비 |
| 221 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 세정공정의 세정액 금속 오염도 감시를 위한 고감도 모니터링기기 개발 | 세정장비 |
| 220 | 중소기업기술혁신개발사업 | 프로브 스테이션 광학시스템 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
| 219 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 공정능력 향상을 위한 멀티쳄버형 플라즈마 세정기개발 | 세정장비 |
| 218 | 중소기업기술혁신개발사업 | 내열 및 내 플라즈마 향상용 PERFLUORO-ELASTOMER 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
| 217 | 중소기업기술혁신개발사업 | 초소형 HDD 세정 건조 장비 (Dryer) | 세정장비 |
| 216 | 중소기업기술혁신개발사업 | High Throughput용 웨이퍼 진공 이송로봇 개발 및 제품화 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
| 215 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 설비 부품 및 wafer 세정 | 기타 반도체장비 |
| 214 | 중소기업기술혁신개발사업 | Mask Aligner 용 8~12 inch Exposure module 국산화 | 노광 트랙장비 |
| 213 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 테스터용 디지털 인스트루먼트 보드 개발 | 측정/검사 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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