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| 과제번호 | S1033477 |
|---|---|
| 과제명 | 디지털 홀로그래피를 이용한 반도체 웨이퍼 in-line 검사용 3차원 고속정밀 검사 장비 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2007년도 중소기업기술혁신개발사업 전략과제 하반기 지원계획 공고 |
| 세부공고명 | 전기전자분야(전략과제) |
| 주관기관명 | (주)펨트론(구:트릭센) |
| 관리기관명 | 서울지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 297,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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