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과제번호 S1029685
과제명 대기압 플라즈마를 이용한 In-line형 반도체 감광막 제거 기술 개발
사업명 첨단장비 활용 기술개발사업
공고명 2007년도 하반기 선도형 기술혁신 전략과제 지원사업(중소기업 블루오션 지원사업) 공고
세부공고명 첨단연구장비 활용과제
주관기관명 (주)그랜드텍
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 326,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비
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