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과제번호 S1063700
과제명 다층 기판 결합형 60um fine pitch급 probe module 개발
사업명 첨단장비 활용 기술개발사업
공고명 2009년도 중소기업 산학연 협력사업 지원계획 공고
세부공고명 첨단장비 활용과제
주관기관명 에이엠에스티
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 341,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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