287 |
생산환경혁신기술개발사업 |
반도체 웨이퍼 검사용 프로브카드의 실시간 자동측정 공정개발 |
측정/검사 장비 |
286 |
구매조건부신제품개발사업 |
Fine pattern용 고해상도 자동외관검사장비 개발 |
측정/검사 장비 |
285 |
첨단장비 활용 기술개발사업 |
Fine pitch tapered MEMS probe card를 위한 bonding 기술 개발 |
측정/검사 장비 |
284 |
첨단장비 활용 기술개발사업 |
Active Self Cleaning 기능을 가지는 Process Monitor용 초소형 Plasma Module 개발 |
측정/검사 장비 |
283 |
생산환경혁신기술개발사업 |
300mm wafer 반도체용 열처리장비 제조용 표준온도 검증 시스템의 개발 |
열처리장비 |
282 |
생산환경혁신기술개발사업 |
MBT(Monitoring Burn-In Tester System) 온도분포 조정 방식 표준화를 통한 생산성 향상 |
측정/검사 장비 |
281 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체,LCD 공정을 위한 역류 방지용 고신뢰성 진공 게이트 밸브 시스템 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
280 |
중소기업기술혁신개발사업 |
범프형성을 위한 고온 솔더 볼 잉크분사노즐 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
279 |
중소기업기술혁신개발사업 |
Vision 기술을 이용한 PCB Assembly 검사 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
278 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체, LCD 공정용 초정밀,대유량 케미컬 블랜딩 장치의 개발 |
기타 반도체장비 |
277 |
중소기업기술혁신개발사업 |
12 Inch 분석용 Semi Auto Probe Station의 개발 |
측정/검사 장비 |
276 |
기업협동형기술개발사업 |
고속영상처리를 위한 Smart 카메라개발 |
측정/검사 장비 |
275 |
중소기업기술혁신개발사업 |
ATC 내장형 공기 베어링 스핀들 설계 기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
274 |
중소기업기술혁신개발사업 |
차세대 반도체 공정용 실시간 온도예측 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
273 |
중소기업기술혁신개발사업 |
차량용 발전기 레귤레이터 검사를 위한 Embeded 시스템 기반의 소형 검사장치 개발 |
측정/검사 장비 |