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| 과제번호 | S1040130 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체,LCD 공정을 위한 역류 방지용 고신뢰성 진공 게이트 밸브 시스템 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2008년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고(일반과제) |
| 세부공고명 | 일반과제 |
| 주관기관명 | (주)마이크로텍 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 80,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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