
사이트맵
창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
---|---|---|---|
302 | 중소기업기술혁신개발사업 | Self-Plasma Optical Emission Spectroscopy와 전산지능을 이용한 진공공정 진단시스템 개발 | 측정/검사 장비 |
301 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 공정검사에 사용되는 Multi-Cartridge Type의 접합강도 테스트 장비 개발 | 측정/검사 장비 |
300 | 중소기업기술혁신개발사업 | 태양전지용 반사방지막MgF2 증착장비 개발 | 증착장비 |
299 | 중소기업기술혁신개발사업 | 동영상 기반 반도체공정 모니터링 및 결함 검출 자동화시스템 | 측정/검사 장비 |
298 | 기업협동형기술개발사업 | Heating 및 온도변화와 편차를 자동조절하여주는 인산시스템 장치개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
297 | 중소기업기술혁신개발사업 | 차세대 반도체 공정용 증착 장비 개발 | 증착장비 |
296 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 WEB(Tungsten Etchback)공정용 식각챔버 개발 | 에칭 장비 |
295 | 중소기업기술혁신개발사업 | 잉크젯 토출부 피 측정 프로부 및 측정시스템 개발 | 측정/검사 장비 |
294 | 중소기업기술혁신개발사업 | Solder Paste를 이용한 Die Attach Solder 기포 발생 억제 장치 개발 | 기타 반도체장비 |
293 | 중소기업기술혁신개발사업 | 웨이퍼 긁힘 방지 센서 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
292 | 구매조건부신제품개발사업 | PKG 기판 PSR용 Roll Coater and Pre-Cure 설비 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
291 | 구매조건부신제품개발사업 | 반도체 SPINNER 장비용 고정밀 온도 제어기 시스템 개발 | 노광 트랙장비 |
290 | 구매조건부신제품개발사업 | Accuracy 향상을 위한 Barrel EPI Reactor 개발 | 기타 반도체장비 |
289 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 태양전지 배면 투명전극용 sputtering 장비기술 개발 | 증착장비 |
288 | 생산환경혁신기술개발사업 | 케미컬 저감을 위한 교효율 LED칩 제작용 스핀 방식 전자동 현상 기술 개발 | 노광 트랙장비 |