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과제번호 S1066009
과제명 Heating 및 온도변화와 편차를 자동조절하여주는 인산시스템 장치개발
사업명 기업협동형기술개발사업
공고명 2009년도 신기술사업화평가 연계지원과제
세부공고명 신기술사업화평가 연계지원과제
주관기관명 (주)에스아이엔지니어링
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 400,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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