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과제번호 S1051635
과제명 케미컬 저감을 위한 교효율 LED칩 제작용 스핀 방식 전자동 현상 기술 개발
사업명 생산환경혁신기술개발사업
공고명 2008년도 하반기 생산환경혁신기술개발사업 지원계획 공고(일반과제)
세부공고명 일반과제
주관기관명 에스브이에스주식회사
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 120,500,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 노광 트랙장비
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