272 |
중소기업기술혁신개발사업 |
전도성 수지가 재료인 반도체 IC TRAY의 정전기 및 표면 마모 향상을 위한 장치 개발 |
이온주입장비 |
271 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체 나노집적공정용 12" Solide SiC+Si Plasma Etching Electrode & outer Ring 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
270 |
중소기업기술혁신개발사업 |
메모리 리페어용 지능형 레이저 광학시스템 개발 |
기타 반도체장비 |
269 |
중소기업기술혁신개발사업 |
저소비전력 Dual 채널 반도체 생산라인용 칠러 개발 |
기타 반도체장비 |
268 |
중소기업기술혁신개발사업 |
Fluxless soldering을 위한 진공 리플로우 시스템 개발 |
열처리장비 |
267 |
생산환경혁신기술개발사업 |
LED웨이퍼 전기루미네선스(EL) 특성 측정/검사시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
266 |
기업협동형기술개발사업 |
불소섬유를 이용한 반도체 장비용 부식성 가스 여과 필터 제조기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
265 |
서비스연구개발사업 |
Engineering Job Computerization |
측정/검사 장비 |
264 |
중소기업기술혁신개발사업 |
Mixed signal SoC반도체용 테스터 개발 |
측정/검사 장비 |
263 |
첨단장비 활용 기술개발사업 |
Laser Diode 광 Fiber 조합 모듈을 적용한 in-line Curing 장치 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
262 |
첨단장비 활용 기술개발사업 |
20Mhz Full Test용 Monitering Burn-In Test System 개발 |
측정/검사 장비 |
261 |
첨단장비 활용 기술개발사업 |
TFT-LCD GLASS ETCHING(표면식각)장비 개발 |
에칭 장비 |
260 |
중소기업이전기술개발사업 |
반도체/디스플레이 제조장비의 RF 플라즈마 임피던스 검출기의 상품화 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
259 |
구매조건부신제품개발사업 |
차세대 고속 고정밀 SMT/Handler 전용 RTEX(Real-Time Express) 분산형 제어기 및 Ethernet/IP Gateway 개발 |
측정/검사 장비 |
258 |
구매조건부신제품개발사업 |
고성능 MF 전원 공급 장치 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |