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| 과제번호 | S1036639 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체 나노집적공정용 12" Solide SiC+Si Plasma Etching Electrode & outer Ring 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2008년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고(전략과제) |
| 세부공고명 | 글로벌 전략과제(31개분야 자유응모) |
| 주관기관명 | (주)월덱스 |
| 관리기관명 | 대구경북지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 200,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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