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과제번호 S1047402
과제명 LED웨이퍼 전기루미네선스(EL) 특성 측정/검사시스템 개발
사업명 생산환경혁신기술개발사업
공고명 2008년도 상반기 생산환경혁신기술개발사업 지원계획 공고(선도과제)
세부공고명 선도과제
주관기관명 한국생산기술연구원
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 421,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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