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| 과제번호 | S1043129 |
|---|---|
| 과제명 | 반도체/디스플레이 제조장비의 RF 플라즈마 임피던스 검출기의 상품화 |
| 사업명 | 중소기업이전기술개발사업 |
| 공고명 | 2008년도 상반기 상용화기술개발사업 시행계획 공고(이전기술개발사업) |
| 세부공고명 | 자유응모과제 |
| 주관기관명 | (주)에이티에스 |
| 관리기관명 | 대전세종지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 72,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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