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과제번호 S1051138
과제명 Fine pattern용 고해상도 자동외관검사장비 개발
사업명 구매조건부신제품개발사업
공고명 2008년도 하반기 구매조건부 신제품 개발사업 시행계획 공고 (일반과제)
세부공고명 민간구매과제
주관기관명 에이티아이(주)
관리기관명 인천지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 188,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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