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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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347 | 중소기업기술혁신개발사업 | 고효율 LED 대량생산을 위한 대면적 고속 Sapphire Etch 기술 개발 | 에칭 장비 |
346 | 중소기업기술혁신개발사업 | 1005 초소형 적층 세라믹 콘덴서 외부전극 도포 시스템 개발 | 기타 반도체장비 |
345 | 구매조건부신제품개발사업 | 양면패키지 검사 장비 개발 | 측정/검사 장비 |
344 | 구매조건부신제품개발사업 | 반도체용 패키지 박판기판용 비접촉 건조시스템 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
343 | 구매조건부신제품개발사업 | AMOLED용 Sub-Micron AOI(Automatic Optical Inspection) 개발 | 측정/검사 장비 |
342 | 중소기업기술혁신개발사업 | 차세대 모듈형 프로브 카드 개발 | 측정/검사 장비 |
341 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 반도체공정용 Ceramic Heating Susceptor 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
340 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 50nm 급 반도체 식각 챔버의 HPQ window 개발 | 에칭 장비 |
339 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | Low Voltage Level Test 안정화를 위한 Multi Function Power System 개발 | 측정/검사 장비 |
338 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 공학 시뮬레이션기반의 나노 공정용 플라즈마 식각장비 설계 | 에칭 장비 |
337 | 창업보육기술개발사업 | High Power LED 측정기술에 적합한 Pulse형 Source Meter 개발 | 측정/검사 장비 |
336 | 구매조건부신제품개발사업 | Automatic LED Chip 화상검사 설비 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
335 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 박막태양전지용 APCVD Injector 모듈개발 | 증착장비 |
334 | 첨단장비 활용 기술개발사업 | 스크러버용 열교환기 고유 모델 개발 | 기타 반도체장비 |
333 | 생산환경혁신기술개발사업 | 터치패널용 ITO 필름 생산성 향상을 위한 롤투롤 스퍼터링 장비 기술 | 증착장비 |