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| 과제번호 | S1068108 |
|---|---|
| 과제명 | 공학 시뮬레이션기반의 나노 공정용 플라즈마 식각장비 설계 |
| 사업명 | 첨단장비 활용 기술개발사업 |
| 공고명 | 2009년도 첨단장비 활용 기술개발지원사업 하반기 지원계획 공고 |
| 세부공고명 | 슈퍼컴퓨터 활용분야 |
| 주관기관명 | 아이티에스 |
| 관리기관명 | 대전세종지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 108,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 에칭 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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