377 |
중소기업기술혁신개발사업 |
대형 웨이퍼 및 기판의 두께 및 warpage 검사 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
376 |
중소기업기술혁신개발사업 |
대면적 기판에 적용되는 수직형 LED용 웨이퍼 본더 개발 |
기타 반도체장비 |
375 |
중소기업기술혁신개발사업 |
일체형 마이크로 배열렌즈 및 배열핀홀을 이용한 다중채널 공초점(Confocal) 방식기반 웨이퍼 범프 3차원 검사장치 개발 |
측정/검사 장비 |
374 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체 생산용 Si Boat 생산기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
373 |
중소기업기술혁신개발사업 |
450mm급 식각공정용 EPD 시스템 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
372 |
중소기업기술혁신개발사업 |
High Power LED 패키징 제조공정을 위한 하이브리드 LED 다이본더 시스템 |
패키징장비 |
371 |
중소기업기술혁신개발사업 |
20nm급 반도체 공정용 Plasma Damage-Free SiNx 식각공정 및 양산장비 개발 |
에칭 장비 |
370 |
창업성장기술개발사업 |
열전반도체를 이용한 웨이퍼 다이싱용 chuck 냉각시스템 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
369 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체 Photo 공정용 초정밀 Scan Chuck 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
368 |
구매조건부신제품개발사업 |
FCB Singulator (Half to PCS) 국산화 개발 |
측정/검사 장비 |
367 |
그린디자인기술개발사업 |
UV-LED를 이용한 친환경 exposure module 개발 |
노광 트랙장비 |
366 |
생산환경혁신기술개발사업 |
디스플레이제조용 테프론 절연체 접합공정 자동화 시스템 구축 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
365 |
중소기업기술혁신개발사업 |
5.5세대 OLED 제조용 복사가열형 선형진공증발장치 상용화 기술개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
364 |
구매조건부신제품개발사업 |
고해상도 AFVI 개발 |
측정/검사 장비 |
363 |
구매조건부신제품개발사업 |
탄탈 고분자 pellet welding machine 국산화 개발 |
기타 반도체장비 |