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| 과제번호 | SA113489 |
|---|---|
| 과제명 | 일체형 마이크로 배열렌즈 및 배열핀홀을 이용한 다중채널 공초점(Confocal) 방식기반 웨이퍼 범프 3차원 검사장치 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2011년도 중소기업 기술혁신개발사업 미래선도과제 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 첨단융합분야 |
| 주관기관명 | (주)에이치비테크놀러지 |
| 관리기관명 | 대전세종지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 400,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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