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과제번호 S1063551
과제명 Mask Loader 장비개발
사업명 생산환경혁신기술개발사업
공고명 2009년도 중소기업기술개발지원사업 지원계획 통합공고 (2차)
세부공고명 실용과제
주관기관명 (주)티이에스
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 122,000,000
과제상태 중단
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비
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