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과제번호 S1059364
과제명 반도체 CMP공정 생산성 향상 장치 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2009년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 통합공고 (1차)
세부공고명 실용과제
주관기관명 (주)에이티아이케이
관리기관명 서울지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 150,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 측정/검사 장비
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