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과제번호 S1060944
과제명 3kw 알.에프 제너레이터 개발(플라즈마 전원장치)
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2009년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 통합공고 (1차)
세부공고명 실용과제
주관기관명 지우전자(주)
관리기관명 인천지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 150,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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