2024년 중소기업기술개발지원사업 통합공고 안내 24년 통합공고문 보러 가기
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[검색결과: 1135 건]
기술분야검색 리스트
No 사업분류 과제명 세부분야
955 전략형창업과제 등방성카본의 열전도 향상을 통한 반도체용 웨이퍼 홀더 개발 증착장비
954 전략형창업과제 반도체 패키징 생산用 압력Chamber의 Big Size Bubble(Void) 불량해결을 위한 "진공제어 Unit" 기술개발 사업 패키징장비
953 전략형창업과제 반도체 공정부산물 세정용 Foreline 플라즈마 장비 개발 세정장비
952 디딤돌창업과제 소자의 B Dopant 확산 억제를 위한 550 oC이하 ALD 산화막 증착 공정기술 및 핵심 장치 개발 증착장비
951 디딤돌창업과제 반도체 식각장비 포커스링용 PVT(승화재결정법) SiC 소재개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
950 혁신형R&D ICT를 이용한 반도체 제조 장비의 실링재 자동 혼합 공정시스템 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
949 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) 무선전력을이용한 반도체설비 이송장치용 600W급 전원공급장치 측정/검사 장비
948 TIPS과제 차세대 DRAM에 적용할 High-k material 및 Si-melt 열처리 장비 개발 열처리장비
947 예비가젤형기술개발 AI 기술을 활용한 반도체 PR장비의 노즐 장치 불량 도포 검출기 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
946 전략형창업과제 자가 진단 기능을 구비한 3G 고속 인터페이스 SoC 검사 솔루션 측정/검사 장비
945 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) 인공지능을 이용한 UV 자동조도조절 시스템을 구비한 Contact Aligner 개발 노광 트랙장비
944 현장형R&D MLCC 칩 packaging용 taping rolling 장치 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
943 현장형R&D 습식 Wafer 세정 장비의 수입형 Carbon Peek 소재 대체를 위한 저저항 SiC Spin Chuck Pin 국산화 제조 기술개발 세정장비
942 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) 반도체 금형 코팅용 고내구성 반응형 conditioner 개발 패키징장비
941 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) EUV용 blank mask 반사막 증착 공정 시스템 개발 증착장비
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