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[검색결과: 1142 건]
기술분야검색 리스트
No 사업분류 과제명 세부분야
1007 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) 반도체 세정공정용 초고순도 특수가스저장용기 열간공법 공정기술 개발 기타 반도체장비
1006 현장형R&D 다품종 전선의 자동 공급 및 배출장치 개발을 통한 와이어링 하네스 생산공정 개선 기타 반도체장비
1005 현장형R&D 웨이퍼 이송 공정 개선을 위한 Al 흡착 홀더 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1004 중소기업기술혁신개발사업(수출지향형) 파괴인성 강화 맞춤형 나노탄소소재 제조 및 초미세 Cu 와이어 본딩용 나노탄소소재/세라믹 복합 캐필러리 제작 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1003 제조중소기업글로벌역량강화 Edge Impedance Control 기술을 적용한 300 mm Dielectric 식각 장치의 성능 향상 기술 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1002 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) 초미세 반도체 플라즈마공정을 위한 능동형 RF 전력전달시스템개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1001 구매조건부신제품개발사업(구매연계형) Single형 반도체 Wafer 세정장비용 메가소닉 Unit 개발 세정장비
1000 수요기반 기술이전 이중 교반 시스템을 구비한 연료전지 촉매 귀금속(Pt) 코팅용 원자층 증착 장비 증착장비
999 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) Hidden Bolting 구조의 2-Piece형 C-Shroud Ring과 다중 체결부 동시 결합 기술의 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
998 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) 그래핀 분산공정기술개발을 통한 나일론 영구대전 방지(마찰대전압 0.05kV) 비평면 전자부품 클리너 개발 세정장비
997 창업성장기술개발사업(전략형) LPP 광원용 고성능 EUV 콜렉터 (EUV Collector) 개발 측정/검사 장비
996 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 대형(1m×2m급 이상) CIP 장비를 활용한 반도체 에칭공정용 저 유전손실을 갖는 500mm급 고밀도 세라믹 Isolator 국산화 기술 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
995 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 비메모리 반도체 제조공정 국산화·고도화 지원를 위한 200mm(8인치)공정 전용 AI 자가진단 및 진동감쇠모듈 내장형 반도체웨이퍼이송장비 패키지(SMIF POD Handler + Active buffer) 개발 측정/검사 장비
994 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) (반도체 조립 및 패키징 장비) 박막형 성형 기술 개발 패키징장비
993 중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) 차세대 인터페이스 기반의 64Gbps급 SSD Tester 시스템 개발 측정/검사 장비
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