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| 과제번호 | S3193940 |
|---|---|
| 과제명 | Edge Impedance Control 기술을 적용한 300 mm Dielectric 식각 장치의 성능 향상 기술 개발 |
| 사업명 | 제조중소기업글로벌역량강화 |
| 공고명 | 2021년도 제조중소기업 글로벌역량강화사업 '품목지정 과제'시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2021년도 제조중소기업 글로벌역량강화사업 '품목지정 과제'시행계획 공고 |
| 주관기관명 | (주)제이하라 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 600,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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