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과제번호 S3177448
과제명 이중 교반 시스템을 구비한 연료전지 촉매 귀금속(Pt) 코팅용 원자층 증착 장비
사업명 수요기반 기술이전
공고명 2021년도 테크브릿지활용 상용화 기술개발사업 제2차 시행계획 수정공고
세부공고명 2021년도 테크브릿지활용 상용화 기술개발사업 제2차 시행계획 수정공고
주관기관명 씨엔원
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 766,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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