1134 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
자동배기장치가 장착된 수세건조일체형 Multi-way Stream 방식의 12인치급 웨이퍼 드라이어 개발 |
세정장비 |
1133 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
In-situ type 스크러버 최적 제어용 TDLAS 가스 측정 시스템 개발 |
기타 반도체장비 |
1132 |
중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) |
패턴 웨이퍼 50um 테스트 키 영역 USJ(Ultra Shallow Junction) 박막 품질 측정을 위한 마이크로 4point probe 전자동 RS측정 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
1131 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
전기차 BMS용 대면적 FPCB 제조를 위한 롤투컷 기반 수직형 자동 가접/절단기 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1130 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
실리콘 웨이퍼 표면 온도 300℃와 온도균일성 ±5%를 갖는 반도체 웨이퍼 세정공정용 LED-HEATING SYSTEM 개발 |
세정장비 |
1129 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
별도의 댐퍼 없이 펌프 자체에서 맥동을 최소화한 반도체 wet 공정용 통합형 벨로우즈 펌프 국산화 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1128 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
반도체 300mm PVD용 Bias Heater 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1127 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
반도체 식각공정용 벌크 Y2O3 대체 558Φ급 Y2O3-Al2O3 접합체 윈도우 제조 기술 개발 |
에칭 장비 |
1126 |
소재부품장비연구인력채용지원(참여기업접수용) |
넥스틴_신진 연구인력 채용지원사업 |
기타 반도체장비 |
1125 |
고경력연구인력채용지원(참여기업접수용) |
고경력 연구인력 채용지원 |
기타 반도체장비 |
1124 |
고경력연구인력채용지원(참여기업접수용) |
반도체 및 특수목적용 고성능 벨로우즈 파이프 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1123 |
신진연구인력채용지원(참여기업접수용) |
(주)아이작리서치_신진연구인력 채용지원사업 |
측정/검사 장비 |
1122 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
50um Pitch 이하 4-Wire Bare Board Test용 MEMS Wire Probe 개발 |
측정/검사 장비 |
1121 |
지역주력산업육성 |
AI 영상분석 기반 저비용·탁상형 3D PCB 비전 불량판단 장비 개발 |
측정/검사 장비 |
1120 |
지역주력산업육성 |
반도체 웨이퍼칩 분석을 위한 1μm급 스테이지 개발 및 전자주사현미경 측정 장비 개발 |
측정/검사 장비 |