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창닫기No | 사업분류 | 과제명 | 세부분야 |
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77 | 중소기업기술혁신개발사업 | 차세대 대면적 평판 HP-CP System개발 | 기타 반도체장비 |
76 | 중소기업기술혁신개발사업 | LaB6로 코팅된 캐소드 및 3방향 가스유동을 가지는 대용량 플라즈마 이온원 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
75 | 중소기업기술혁신개발사업 | SMT 인라인 시스템 장비용 Compact PCI 기반 초정밀 다축 Motion Controller개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
74 | 중소기업기술혁신개발사업 | 유기 EL 패널용 Aging System 개발 | 기타 반도체장비 |
73 | 중소기업기술혁신개발사업 | 평판 디스플레이용 사이드 글라스 디스펜스 장치 개발 | 기타 반도체장비 |
72 | 중소기업기술혁신개발사업 | LCD GLASS 위치감시용 입체영상 구현시스템이 탑재된 FPD 제조장치 | 세정장비 |
71 | 중소기업기술혁신개발사업 | 대면적 고품위 박막 증착용 Linear plasma 이온원 개발 | 증착장비 |
70 | 중소기업기술혁신개발사업 | 대면적 Low Temperature substrate용 sputtering장비 | 증착장비 |
69 | 중소기업기술혁신개발사업 | Line Scan CCD Camera를 이용한 반도체용 PI Tape검사장치 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
68 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체용 고순도 Liq. Gas 정제 기술 개발 | 기타 반도체장비 |
67 | 중소기업기술혁신개발사업 | 저비용 고효율 300mm 웨이퍼 진공 이송 장치 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
66 | 중소기업기술혁신개발사업 | 차세대 UNDER-FILL DISPENSER HEAD 개발 | 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
65 | 중소기업기술혁신개발사업 | 반도체 CVD 장비의 가스분해용 Heater | 기타 반도체장비 |
64 | 중소기업기술혁신개발사업 | 대면적용 평탄증착가능한 점증발원(Point source)개발 | 증착장비 |
63 | 중소기업기술혁신개발사업 | Flip Chip용 PCB Panel 회로 패턴 형상 측정기 개발 | 측정/검사 장비 |