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과제번호 S0071219
과제명 저비용 고효율 300mm 웨이퍼 진공 이송 장치 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2003년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고
세부공고명 일반과제
주관기관명 (주)나래윈
관리기관명 충북지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 50,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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