기술분야별 지원과제 검색
기술분야별검색 내용
과제번호 S0071569
과제명 LaB6로 코팅된 캐소드 및 3방향 가스유동을 가지는 대용량 플라즈마 이온원 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2003년도 중소기업기술혁신개발사업 중 전략과제 지원계획 공고
세부공고명 수요조사 도출과제
주관기관명 (주)브이에스아이
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 75,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
재검색 목록보기