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과제번호 S0070883
과제명 대면적용 평탄증착가능한 점증발원(Point source)개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업
공고명 2003년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고
세부공고명 일반과제
주관기관명 (주)야스
관리기관명 서울지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 79,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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