1037 |
시도기업지원 |
충북 주력산업 지능형 IT 부품 부가가치 창출을 위한 사업화 지원 |
패키징장비 |
1036 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
차세대 내플라즈마 코팅에 필요한 고밀도 내식각성 코팅 박막을 위한 코팅 설비부품 및 플라즈마 내식각성 평가설비 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1035 |
지역주력산업육성 |
다분할 노광공정을 가진 RTR 노광장비 |
노광 트랙장비 |
1034 |
중소기업기술혁신개발사업(강소기업100) |
N2 순환형 EFEM 대체 습도제어 시스템 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1033 |
지역스타기업육성 |
배관용 불소수지의 압출공법 개발 및 불소수지와 금속배관의 융착을 위한 이종매질 융합 구조설계와 고주파 융착방법의 개발 |
기타 반도체장비 |
1032 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
히팅시스템을 구비한 반도체 공정용 고내구성(25만회 이상)TRIPLE PREVENTION 게이트 밸브 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1031 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
AC/DC 겸용 반도체 장비 정밀제어용 초소형 비례제어 액추에이터 개발 |
에칭 장비 |
1030 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
반도체 확산 설비의 New Concept FIMS 제품 개발 |
열처리장비 |
1029 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
반도체 핸들링 로봇 제어에 최적화 설계된 분진저감 케이블 보호 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
1028 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
반도체 웨이퍼 증착 시 온도를 균일하게 제어하여 증착 불량률을 낮추고 생산성을 높이는 2Zone-2T/C 질화알루미늄 히터 개발 |
증착장비 |
1027 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
반도체 디스플레이 공정 in-situ 모니터링 TOF-MS 국산화 |
측정/검사 장비 |
1026 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
플라즈마를 이용한 반도체 공정 오염수 정화 시스템 개발 |
기타 반도체장비 |
1025 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
반도체 웨이퍼 및 디스플레이 스프레이 세정공정 분사면의 최소하중 1.0gf/cm2 수준의 정밀압력분석 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
1024 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
곡면 Rail과 2-Step 미세 홀을 가지는 Curved Type의 반도체 Poly Etcher 장비용 Quartz Shower Head 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
1023 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
반도체 패키지 트레이의 반도체 칩 Crack과 트레이의 불량 검출을 위한 3차원 형상 분석기 개발 및 2차원 복합검사기 개발 |
패키징장비 |