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창닫기과제번호 | S3237008 |
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과제명 | 반도체 확산 설비의 New Concept FIMS 제품 개발 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘소부장일반(일반과제)’ 상반기 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘소부장일반(일반과제)’ 상반기 시행계획 공고 |
주관기관명 | 주식회사 위존 |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 400,000,000 |
과제상태 | 과제진행중 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 열처리장비 |