2025년 중소기업기술개발지원사업 통합공고 안내 25년 통합공고문 보러 가기
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기술분야검색 리스트
No 사업분류 과제명 세부분야
1067 컨소시엄형기술개발지원프로그램 AP-메모리 통합 패키지 메모리 결함 검출 및 문자/바코드 인식 딥러닝 알고리즘 기타 반도체장비
1066 컨소시엄형기술개발지원프로그램 수직형 배치 ALD 증착 장비에 적용 가능한 고밀도 플라즈마 소스 개발 증착장비
1065 컨소시엄형기술개발지원프로그램 Micro OLED 봉지막용 300mm급 고생산성 배치형 ALD 증착 장비 개발 증착장비
1064 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 반도체 초미세화를 위해 차세대 무단차 하부막 코팅 기술 및 장비 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1063 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 쿼츠 재성형을 통한 건식 식각용 12인치 쿼츠 포커스 링 소재 개발 에칭 장비
1062 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) 최신 제어 기술의 High Throughput Low Defect 8“ CMP 장비 개발 폴리싱(CMP) 장비
1061 중소기업기술혁신개발사업(시장확대형) 8-인치급 SiC 에피박막 성장용 reactor 및 고품위 저결함 에피 성장 최적 공정 개발 증착장비
1060 중소기업기술혁신개발사업(수출지향형) 투명체 Mini LED 의 높이 정밀 측정이 가능한 고속 2D/3D 복합 검사 장비 개발 측정/검사 장비
1059 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 반도체 세정공정 항온조용 SiC 코팅 장비 및 코팅 기술 개발과 이를 적용한 항온조용 전열판 국산화 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1058 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 인공지능기반 전력반도체 검사장비개발 측정/검사 장비
1057 중소기업기술혁신개발사업(수출지향형) 시스템반도체 패키징 공정을 위한 인공지능 비전검사 장비기술 개발 측정/검사 장비
1056 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 수kV급 고전력분야용 SiC 전력반도체 계면결함감소를 위한 저온, 고밀도 Radical 산화 장비 개발 증착장비
1055 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 반도체 제조공정에서 플라즈마 저항 특성이 우수한 과불소 고무 Seal 개발 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
1054 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 협피치 비메모리 반도체 Probe Card용 초미세직경 Rod의 Micro Deburring Cutting 가공기술 개발 측정/검사 장비
1053 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) 반도체 온도 검사용 고성능 열전소자 모듈과 그 제어기술 개발 측정/검사 장비
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