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과제번호 S3276575
과제명 쿼츠 재성형을 통한 건식 식각용 12인치 쿼츠 포커스 링 소재 개발
사업명 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략)
공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고
세부공고명 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고
주관기관명 비씨엔씨(주)
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 499,000,000
과제상태 과제진행중
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 에칭 장비
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