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창닫기과제번호 | S3276575 |
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과제명 | 쿼츠 재성형을 통한 건식 식각용 12인치 쿼츠 포커스 링 소재 개발 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(소부장전략) |
공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고 |
세부공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 '소부장전략' 과제 시행계획 공고 |
주관기관명 | 비씨엔씨(주) |
관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 499,000,000 |
과제상태 | 과제진행중 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 에칭 장비 |