665 |
산학협력(예비연구) |
초미세배선 공정을 위한 루테늄 전구체 및 무전해도금공정 기술 개발 |
반도체 재료 |
664 |
현장형R&D |
적외선 에피 웨이퍼의 4인치화를 통한 생산성 향상 |
반도체 재료 |
663 |
컨소시엄형기술개발지원프로그램 |
스마트 영농 특화 비행데이터 수집 장치 개발 |
SoC |
662 |
지역주력산업육성 |
전자식 나침반 기능 구현을 위한 모바일 기기용 5세대 지자기센서 IC 개발 |
SenSor용 소자 |
661 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
3nm 미세공정용 웨이퍼 제조를 위한 32인치 석영 도가니의 외층 리튬 0.1ppm 이하 저감 기술 개발 |
반도체 재료 |
660 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
고출력 칩 실장용 고방열 기판 생산이 가능한 구리 적층 프린팅 기술을 적용한 전력반도체용 방열기판 개발 |
Si 소자 |
659 |
중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
전력반도체 SiC 식각공정에 사용되는 Si-Cathode용 실리콘 절단 시스템 개발 |
Si 소자 |
658 |
구매조건부신제품개발사업(공동투자형) |
반도체 패키지 고집적화 구현을 위한 본딩와이어용 세라믹박막 대용량 증착기술개발 및 상용화 |
반도체 재료 |
657 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
외국 독점 반도체부품 코팅용 Pd-Co 도금액 국산화 |
반도체 재료 |
656 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
±100g 측정 가능한 고충격 고민감도 MEMS 가속도센서 개발 |
MEMS 소자 |
655 |
중소기업기술혁신개발사업(소부장일반) |
프리미엄 세탁건조기용 업데이트 가능한 저장 및 제어장치를 갖는 스마트 홀센서리스 3상 BLDC모터 구동 반도체 개발 |
설계 Tool |
654 |
구매조건부신제품개발사업(구매연계형) |
반도체 식각 공정용 중공형(hollow cylindrical type) 다결정 실리콘 잉곳 성장 및 부품 제조 기술 개발 |
Si 소자 |
653 |
소재부품장비전략협력기술개발 |
초고집적 반도체 패키징 TSV 공정용 Cu CMP 슬러리 소재국산화 |
반도체 재료 |
652 |
소재부품장비전략협력기술개발 |
전기자동차 급속 충전을 위한 6.6kW급 온보드 차저용 고효율 전력변환모듈 개발 |
화합물 소자 |
651 |
창업성장기술개발사업(전략형) |
전력반도체 패키징용 접합강도 25Mpa이상인 Cu-Sn계 저온접합소재 개발 |
기타 반도체 소자 |