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| 과제번호 | S3236231 |
|---|---|
| 과제명 | 전력반도체 SiC 식각공정에 사용되는 Si-Cathode용 실리콘 절단 시스템 개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업(시장대응형) |
| 공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장대응형(재도약과제)’ 상반기 시행계획 공고 |
| 세부공고명 | 2022년도 중소기업기술혁신개발사업 ‘시장대응형(재도약과제)’ 상반기 시행계획 공고 |
| 주관기관명 | 휴림 글로벌 |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 480,000,000 |
| 과제상태 | 과제진행중 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체소자및 시스템 >> Si 소자 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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