47 |
중소기업기술혁신개발사업 |
LCD Panel 얼룩검사용 요동기구 시스템 개발 |
측정/검사 장비 |
46 |
중소기업기술혁신개발사업 |
플라즈마 전산모사를 이용한 고효율 요동자석 스터퍼링건 개발 |
증착장비 |
45 |
중소기업기술혁신개발사업 |
스트립형태 반도체 부품의 이송용 무한궤도 벨트와 GRIP구조개발 및 이에 따른 최첨단 In-Line 이물질 제거 장비 개발 |
기타 반도체장비 |
44 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체 트랙장비용 복합제어기 및히팅 플레이트 개발 |
노광 트랙장비 |
43 |
중소기업기술혁신개발사업 |
웨이퍼 이송장치 중 진공용 웨이퍼 얼라인너 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
42 |
중소기업기술혁신개발사업 |
반도체 제조공정을 이용한 자기광학 공간광변조기의 제조 기술 개발 |
기타 반도체장비 |
41 |
중소기업기술혁신개발사업 |
진공첨버내 저온분위기 냉매를 유지 및 Pyrolysis용 석영유리관 설계에 의한 고속 증착용 parylene 코팅시스템개발 |
증착장비 |
40 |
중소기업기술혁신개발사업 |
300MM WAFER CASSETTE(FOUP) OPENER 장치 개발 |
기타 반도체장비 |
39 |
중소기업기술혁신개발사업 |
직접플라즈마와 원거리 플라즈마를 이용한 MEMS 공정장비개발 |
기타 반도체장비 |
38 |
중소기업기술혁신개발사업 |
골전도식 헤드마이크 셀 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
37 |
중소기업기술혁신개발사업 |
인식장치를 이용한 High accuracy high speed rotary head module 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
36 |
중소기업기술혁신개발사업 |
HF 플라즈마를 이용한 이용한 Si Wafer 건식 세정기술 |
세정장비 |
35 |
중소기업기술혁신개발사업 |
스템퍼를 이용한 양면 패턴이 적용된 LED용 소형(2"")도광판 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
34 |
중소기업기술혁신개발사업 |
광고용 복합구조 무기 EL DOT MATRIX MODULE개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |
33 |
중소기업기술혁신개발사업 |
TFT LCD Back Light Lamp Housing의 정밀설계 및 제작기술 개발 |
반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |