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| 과제번호 | S0061171 |
|---|---|
| 과제명 | 진공첨버내 저온분위기 냉매를 유지 및 Pyrolysis용 석영유리관 설계에 의한 고속 증착용 parylene 코팅시스템개발 |
| 사업명 | 중소기업기술혁신개발사업 |
| 공고명 | 2002년도 중소기업기술혁신개발사업 지원계획 공고 |
| 세부공고명 | 일반과제 |
| 주관기관명 | 지에스나노텍 |
| 관리기관명 | 서울지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
| 정부출연금 | 60,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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