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창닫기과제번호 | S3272026 |
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과제명 | 반도체 블랭크/포토마스크 제조용 포토레지스트 도포 장비 개발 |
사업명 | 지역스타기업육성 |
공고명 | 2022년도 지역특화산업육성+(R&D)-지역스타기업육성 지원계획 수정 공고 |
세부공고명 | 2022년도 지역특화산업육성+(R&D)-지역스타기업육성 지원계획 수정 공고 |
주관기관명 | 아레텍주식회사 |
관리기관명 | (재)대구지역산업진흥원 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 416,000,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비 |