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| 과제번호 | S3031949 |
|---|---|
| 과제명 | 차세대 DRAM에 적용할 High-k material 및 Si-melt 열처리 장비 개발 |
| 사업명 | TIPS과제 |
| 공고명 | 2020년 팁스(TIPS / Pre-TIPS / Post-TIPS) 창업팀 지원계획 통합공고 |
| 세부공고명 | (10월) 팁스(TIPS) 창업팀 지원계획 통합공고 |
| 주관기관명 | 알엔알랩 |
| 관리기관명 | (사)한국엔젤투자협회 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 500,000,000 |
| 과제상태 | 완료 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 열처리장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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