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과제번호 S2999547
과제명 ICT를 이용한 반도체 제조 장비의 실링재 자동 혼합 공정시스템
사업명 혁신형R&D
공고명 2020년 공정품질기술개발사업(혁신형R&D) 공고
세부공고명 2020년 공정품질기술개발사업(혁신형R&D) 2차 공고
주관기관명 (주)디아이엔텍
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 200,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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