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창닫기과제번호 | S2996807 |
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과제명 | 습식 Wafer 세정 장비의 수입형 Carbon Peek 소재 대체를 위한 저저항 SiC Spin Chuck Pin 국산화 제조 기술개발 |
사업명 | 현장형R&D |
공고명 | 2020년 공정품질기술개발사업(현장형R&D) 공고 |
세부공고명 | 2020년 공정품질기술개발사업(현장형R&D) 2차 공고 |
주관기관명 | (주)건테크 |
관리기관명 | 대구경북지방중소벤처기업청 |
전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
정부출연금 | 48,000,000 |
과제상태 | 완료 |
산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비 |