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과제번호 S2994553
과제명 AI 기술을 활용한 반도체 PR장비의 노즐 장치 불량 도포 검출기 개발
사업명 예비가젤형기술개발
공고명 2020년도 예비가젤형 기술개발사업 시행계획 연장 공고
세부공고명 2020년도 예비가젤형 기술개발사업 시행계획 공고
주관기관명 주식회사 램스
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 600,000,000
과제상태 완료
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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