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| 과제번호 | S2467946 |
|---|---|
| 과제명 | 고 직접화 공정에 따른 Hybrid 형 건식 세정 흄프리 시스템 개발 |
| 사업명 | 혁신형기술개발사업 |
| 공고명 | 2017년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고(1차) |
| 세부공고명 | 2017년도 중소기업기술혁신개발사업 혁신형기업기술개발 시행계획 공고(1차) |
| 주관기관명 | 피코앤테라(주) |
| 관리기관명 | 경기지방중소벤처기업청 |
| 전문기관명 | 중소기업기술정보진흥원 |
| 정부출연금 | 427,000,000 |
| 과제상태 | 성공 |
| 산업기술분류 | 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비 |
30141 세종특별자치시 집현중앙로 79, 중소기업기술정보진흥원(TIPA)
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