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과제번호 S2451133
과제명 플라즈마 활성종 공급장치 국산화 개발
사업명 구매조건부기술개발사업(국내수요처)
공고명 2016년도 구매조건부신제품개발사업 국내수요처과제 기업제안 수시접수 수정 공고
세부공고명 2016년도 구매조건부신제품개발사업 국내수요처과제 기업제안 수시접수 공고
주관기관명 인투코어테크놀로지
관리기관명 대전세종지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 500,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 세정장비
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