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과제번호 S2430180
과제명 차세대 초정밀 V-NAND 공정용 디지털 전력전달 기술과 미세 전력제어가 가능한 300W LF 전력발생장치 개발
사업명 창업성장-기술개발사업
공고명 2016년도 창업성장기술개발사업 ‘창업과제’ 2차 시행계획 공고
세부공고명 2016년도 창업성장기술개발사업 ‘창업과제’ 2차 시행계획 공고
주관기관명 알에프피티
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 200,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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