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과제번호 S2268281
과제명 3차원 낸드플래시 메모리 공정가스 제어용 압력식 질량유량제어장치 개발
사업명 기술혁신개발사업
공고명 2015년 혁신기술개발사업 R&D 연계지원 과제 등록 공고
세부공고명 2015년 혁신기업기술개발사업 R&D 연계지원 과제 등록 공고
주관기관명 엠케이프리시젼(주)
관리기관명 서울지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 420,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 증착장비
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