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과제번호 S2245974
과제명 차세대 대구경 반도체용 초정밀 이송장치 개발
사업명 창업성장-건강진단연계
공고명 2014년도 창업성장기술개발사업 시행계획 공고(재신청 안내)
세부공고명 건강진단연계 4차(건강진단 신청 과제_보완사업계획서 제출용)
주관기관명 디알주식회사
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 중소기업기술정보진흥원
정부출연금 145,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 기타 반도체장비
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