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과제번호 S2023482
과제명 반도체 제조장치(ALD) 공정의 안정성 확보를 위한 표면처리 기술개발
사업명 구매조건부신제품개발사업
공고명 2012년도 구매조건부신제품개발사업 제1차 (수요조사,기업제안과제) 접수공고
세부공고명 2012년도 제1차 구매조건부 신제품개발사업 (기업제안과제) 신청공고
주관기관명 (주)아인스
관리기관명 경기지방중소벤처기업청
전문기관명 한국산업기술평가관리원
정부출연금 200,000,000
과제상태 성공
산업기술분류 전기ㆍ전자 >> 반도체장비 >> 반도체장비용 핵심부품 및 제조장비
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